一、前言
示波器因?yàn)橛刑筋^的存在而擴(kuò)展了示波器的應(yīng)用范圍，使得示波器可以在線測試
和分析被測電子電路，如下圖：
探頭的選擇和使用需要考慮如下兩個(gè)方面：
其一：因?yàn)樘筋^有負(fù)載效應(yīng)，探頭會(huì)直接影響被測信號(hào)和被測電路；
其二：探頭是整個(gè)示波器測量系統(tǒng)的一部分，會(huì)直接影響儀器的信號(hào)保真度和測
試結(jié)果。
二、探頭的負(fù)載效應(yīng)
當(dāng)探頭探測到被測電路后，探頭成為了被測電路的一部分。探頭的負(fù)載效應(yīng)包括
下面 3 部分：
1. 阻性負(fù)載效應(yīng)；
2. 容性負(fù)載效應(yīng)；
3. 感性負(fù)載效應(yīng)。
阻性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個(gè)電阻，對(duì)被測信號(hào)有分壓的作用，影響
被測信號(hào)的幅度和直流偏置。有時(shí)，加上探頭時(shí)，有故障的電路可能變得正常了。
一般推薦探頭的電阻 R>10 倍被測源電阻，以維持小于 10%的幅度誤差。
容性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個(gè)電容，對(duì)被測信號(hào)有濾波的作用，影響
被測信號(hào)的上升下降時(shí)間，影響傳輸延遲，影響傳輸互連通道的帶寬。有時(shí)，加
上探頭時(shí)，有故障的電路變得正常了，這個(gè)電容效應(yīng)起到了關(guān)鍵的作用。一般推
薦使用電容負(fù)載盡量小的探頭，以減小對(duì)被測信號(hào)邊沿的影響。
感性負(fù)載來源于探頭地線的電感效應(yīng)，這地線電感會(huì)與容性負(fù)載和阻性負(fù)載形成
諧振，從而使顯示的信號(hào)上出現(xiàn)振鈴。如果顯示的信號(hào)上出現(xiàn)明顯的振鈴，需要
檢查確認(rèn)是被測信號(hào)的真實(shí)特征還是由于接地線引起的振鈴，檢查確認(rèn)的方法是
使用盡量短的接地線。一般推薦使用盡量短的地線，一般地線電感=1nH/mm。
三、探頭的類型
示波器探頭大的方面可以分為：無源探頭和有源探頭兩大類。無源有源顧名思義
就是需不需要給探頭供電。
無源探頭細(xì)分如下：
1. 低阻電阻分壓探頭；
2. 帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭（更常用的無源探頭）；
3. 高壓探頭
有源探頭細(xì)分如下：
1. 單端有源探頭；
2. 差分探頭；
3. 電流探頭
常用的高阻無源探頭和有源探頭簡單對(duì)比如下：
低阻電阻分壓探頭具備較低的電容負(fù)載（<1pf)，較高的帶寬（>1.5GHz），較低
的價(jià)格，但是電阻負(fù)載非常大，一般只有 500ohm 或 1Kohm，所以只適合測試低
源阻抗的電路，或只關(guān)注時(shí)間參數(shù)測試的電路。
帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭是常用的無源探頭，一般示波器標(biāo)配的探頭都是此類探
頭。帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭具備較高的輸入電阻（一般 1Mohm 以上），可調(diào)的補(bǔ)
償電容，以匹配示波器的輸入，具備較高的動(dòng)態(tài)范圍，可以測試較大幅度的信號(hào)
（幾十幅以上），價(jià)格也較低。但是不知之處是輸入電容過大（一般 10pf 以上），
帶寬較低（一般 500MHz 以內(nèi)）。
帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭有一個(gè)補(bǔ)償電容，當(dāng)接上示波器時(shí)，一般需要調(diào)整電容值
（需要使用探頭自帶的小螺絲刀來調(diào)整，調(diào)整時(shí)把探頭連接到示波器補(bǔ)償輸出測
試位置），以與示波器輸入電容匹配，以消除低頻或高頻增益。下圖的左邊是存
在高頻或低頻增益，調(diào)整后的補(bǔ)償信號(hào)顯示波形如下圖的右邊所示。
高壓探頭是帶補(bǔ)償?shù)臒o源探頭的基礎(chǔ)上，增大輸入電阻，使得衰減加大（如：100:1
或 1000:1 等)。因?yàn)樾枰褂媚透邏旱脑骷愿邏禾筋^一般物理尺寸較大。
四、有源探頭
我們先來觀察一下用 600MHz 無源探頭和 1.5GHz 有源探頭測試 1ns 上升時(shí)間階躍信號(hào)的影響。使用脈沖發(fā)生器產(chǎn)生一個(gè) 1ns 的階躍信號(hào)，通過測試夾具后，使用SMA 電纜直接連接到一個(gè) 1.5GHz 帶寬的示波器上，這樣示波器上會(huì)顯示一個(gè)波形（如下圖中的蘭色信號(hào)），把這個(gè)波形存為參考波形。然后使用探頭點(diǎn)測測試夾具去探測被測信號(hào)，通過 SMA 直連的波形因?yàn)槭芴筋^負(fù)載的影響而變成黃色的波形，探頭通道顯示的是綠色的波形。然后分別測試上升時(shí)間，可以看出無源探頭和有源探頭對(duì)高速信號(hào)的影響。
具體測試結(jié)果如下：
使用 1165A 600MHz 無源探頭，使用鱷魚嘴接地線：受探頭負(fù)載的影響，上升時(shí)
間變?yōu)椋?.9ns；探頭通道顯示的波形存在振鈴，上升時(shí)間為：1.85ns;使用 1156A 1.5GHz 有源探頭，使用 5cm 接地線：受探頭負(fù)載的影響較小，上升時(shí)間仍為：1ns；探頭通道顯示的波形與原始信號(hào)一致，上升時(shí)間仍為：1ns。單端有源探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用放大器實(shí)現(xiàn)阻抗變換的目的。單端有源探頭的輸入阻抗較高（一般達(dá) 100Kohm 以上），而輸入電容較?。ㄒ话阈∮?1pf)，通過探頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用 50ohm 輸入阻抗。有源探頭帶寬寬（現(xiàn)在可達(dá) 30GHz），而負(fù)載小，但是價(jià)格相對(duì)較高（一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價(jià)格的 10%左右)，動(dòng)態(tài)范圍較?。ㄟ@個(gè)需要注意，因?yàn)槌^探頭動(dòng)態(tài)范圍的信號(hào)，不能正確測試。一般動(dòng)態(tài)范圍 5V 左右），比較脆弱，使用需小心。
差分探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用差分放大器實(shí)現(xiàn)阻抗變換的目的。差分探頭的輸入阻
抗較高（一般達(dá) 50Kohm 以上），而輸入電容較?。ㄒ话阈∮?1pf)，通過差分探
頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用 50ohm 輸入阻抗。差分探頭帶寬非
常寬（現(xiàn)在可達(dá) 30GHz），負(fù)載非常小，具有較高共模抑制比，但是價(jià)格相對(duì)較
高（一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價(jià)格的 10% 左右)，動(dòng)態(tài)范圍也較?。ㄟ@
個(gè)需要注意，因?yàn)槌^探頭動(dòng)態(tài)范圍的信號(hào)，不能正確測試。一般動(dòng)態(tài)范圍 3V
左右），比較脆弱，使用需小心。
差分探頭適合測試高速差分信號(hào)（測試時(shí)不用接地），適合放大器測試，電源測
試，適合虛地測試等應(yīng)用。
電流探頭也是有源探頭，利用霍爾傳感器和感應(yīng)線圈實(shí)現(xiàn)直流和交流電流的測量。電流探頭把電流信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，示波器采集電壓信號(hào)，再顯示成電流信號(hào)。電流探頭可以測試幾十毫安到幾百安培的電流，使用時(shí)需要引出電流線（電流探頭是把導(dǎo)線夾在中間進(jìn)行測試的，不會(huì)影響被測電路）。
電流探頭在測試直流和低頻交流時(shí)的工作原理：
當(dāng)電流鉗閉合，把一通有電流的導(dǎo)體圍在中心時(shí)，響應(yīng)地會(huì)出現(xiàn)一個(gè)磁場。這些
磁場使霍爾傳感器內(nèi)的電子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，在霍爾傳感器的輸出產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢。電
流探頭根據(jù)這個(gè)電動(dòng)勢產(chǎn)生一個(gè)反向（補(bǔ)償）電流送至電流探頭的線圈，使電流
鉗中的磁場為零，以防止飽和。電流探頭根據(jù)反向電流測得實(shí)際的電流值。用這
個(gè)方法，能夠非常線性的測量大電流，包括交直流混合的電流。
電流探頭在測試高頻時(shí)的工作原理：
隨著被測電流頻率的增加，霍爾效應(yīng)逐漸減弱，當(dāng)測量一個(gè)不含直流成分的高頻
交流電流時(shí)，大部分是通過磁場的強(qiáng)弱直接感應(yīng)到電流探頭的線圈。此時(shí)，探頭
就像一個(gè)電流變壓器，電流探頭直接測量的是感應(yīng)電流，而不是補(bǔ)償電流，功放
的輸出為線圈提供一個(gè)低阻抗的接地回路。
五、有源探頭附件
現(xiàn)代的高帶寬有源探頭都采用分離式的設(shè)計(jì)方法，即：探頭放大器與探頭附件部
分分開。這樣設(shè)計(jì)的好處是：
1、支持更多的探頭附件，使得探測更加的靈活；
2、保護(hù)投資，*貴的是探頭放大器（一個(gè)探頭放大器可以支持多種探測方式，
以前需要幾個(gè)探頭來實(shí)現(xiàn)）；同時(shí)探頭附件保護(hù)探頭放大器（探頭附件即使損壞，
價(jià)格也相對(duì)便宜）；
3、這種設(shè)計(jì)方式容易實(shí)現(xiàn)高帶寬。
這些探頭附件，主要包括以下幾種：
1、點(diǎn)測探頭附件（包括：單端點(diǎn)測和差分點(diǎn)測）；
2、焊接探頭附件（包括：單端焊接和差分焊接，分離式的 ZIF 焊接）；
3、插孔探頭附件；
4、差分 SMA 探頭附件（示波器一般直接支持 SMA 連接，但是如果被測信號(hào)需要
上拉如 HDMI，則必須使用 SMA 探頭附件）。
探頭附件的電路結(jié)構(gòu)如下圖所示：
1、在探頭附件**部分會(huì)有一對(duì)阻尼電阻（一般 82ohm），這對(duì)阻尼電阻的作
用是消除探頭附件**部分的電感的諧振影響；
2、探頭**部分的后面是 25Kohm 的電阻，這個(gè)電阻決定了探頭的輸入阻抗（直
流輸入阻抗即電阻：單端 25Kohm，差分 50Kohm），這個(gè)電阻使得被測信號(hào)傳輸
到探頭放大器部分的功率是非常小的，不至于對(duì)被測信號(hào)有較大影響。
3、25Kohm 的電阻后面是同軸傳輸線部分，這個(gè)傳輸線負(fù)責(zé)把小信號(hào)傳輸?shù)椒糯?
器。這個(gè)傳輸線的長度可以很長，也可以很短，中間可以加衰減器，也可以加耦
合電容。
4、同軸傳輸線連接到放大器，放大器是 50ohm 匹配的（差分 100ohm 匹配）。
5、有源探頭為了保持探頭的精 確度，需要工作在恒溫狀態(tài)，所以探頭放大器不能放置到高低溫箱里進(jìn)行高低溫環(huán)境下被測電路板的測試。從探頭附件結(jié)構(gòu)中可見中間的 50ohm 傳輸線的長短不影響探測，所以可以用很長的同軸電纜或擴(kuò)展同軸電纜，讓這個(gè)同軸電纜伸進(jìn)高低溫箱里進(jìn)行高低溫?fù)Q進(jìn)下被測電路板的測試。如下圖是 N5450A 擴(kuò)展電纜，使用 N5381A 焊接探頭附件，可以工作在-55°到 150°溫度范圍。
六、探頭及附件準(zhǔn)確度驗(yàn)證
下圖是一個(gè)例子：被測信號(hào)是一個(gè)頻率 456MHz，邊沿時(shí)間約 65ps 的時(shí)鐘信號(hào)，
分別使用不同類型的探頭和探頭附件的測試結(jié)果。
A 圖是使用 12GHz 的 1169A 差分探頭和 N5381A 12GHz 焊接探頭附件的測試結(jié)果，
幾乎完全復(fù)現(xiàn)被測信號(hào)；
B 圖是使用 500MHz 的無源探頭的測試結(jié)果，顯示的信號(hào)完全失真；
C 圖是使用 12GHz 的 1169A 差分探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號(hào)出現(xiàn)很大的過沖；
D 圖是使用 4GHz 的 1158A 單端探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號(hào)
幾乎是正弦波，失真較大。
從圖中可見探頭和探頭附件對(duì)測試精 確度的影響是非常大的，是我們測試高速信
號(hào)應(yīng)該重點(diǎn)注意的內(nèi)容之一。那我們應(yīng)該如何驗(yàn)證探頭和探頭附件呢？
驗(yàn)證探頭和探頭附件需要使用一臺(tái)脈沖碼型發(fā)生器（如:81134A，3.35GHz 速率，
60ps 邊沿的脈沖碼型發(fā)生器），如果示波器自帶高速信號(hào)輸出功能，也可以使
用示波器的這個(gè)輔助輸出口代替脈沖碼型發(fā)生器（如: Infiniium 示波器的 AUX
OUT 端口可以發(fā)一個(gè)高速時(shí)鐘：456MHz 頻率，約 65ps 邊沿）。另外，需要同軸
電纜和測試夾具（Infiniium 示波器配置的探頭校準(zhǔn)夾具可以作為探頭和探頭附
件驗(yàn)證測試夾具）。測試夾具的外表是地(Ground)，里面走線是信號(hào)(Signal)，
如下圖所示。使用時(shí)，通過同軸電纜把一端接到脈沖碼型發(fā)生器或示波器的輔助
輸出 AUX OUT 端口，另外一端通過適配器連接到示波器的通道 1 上。
然后把被驗(yàn)證的探頭連接到通道 2 上，探頭通過探頭附件可以接觸到測試夾具的信號(hào)和地（如果是差分探頭，那么把+端連接到測試夾具的信號(hào)線，把-端連接到測試夾具的地上）。
1、如果探頭不接觸信號(hào)線，則屏幕上會(huì)出現(xiàn)一個(gè)原始波形，存為參考波形；
2、當(dāng)用探頭探測信號(hào)線時(shí)，通道 1 的波形會(huì)發(fā)生變化，這個(gè)變化后的波形就是
被探頭和探頭附件影響后的被測信號(hào)；
3、這時(shí)，連接探頭的通道 2 會(huì)出現(xiàn)一個(gè)波形，這個(gè)波形是探頭測試到的波形；
4、通過對(duì)比參考波形，通道 1 的波形，和連接探頭的通道 2 的波形，就可以直觀的看出或通過測試參數(shù)讀出三者的差別，可以驗(yàn)證探頭和探頭附件的影響。
下圖是實(shí)際驗(yàn)證的一個(gè)例子，圖 A 把示波器的 AUX OUT 通過同軸電纜連接到測試夾具，測試夾具的另一端通過 SMA-PBNC 適配器連接到示波器的一個(gè)通道上（此例連接到通道 3），把探頭連接到通道 1 上，此時(shí)調(diào)整屏幕上的波形，使得出現(xiàn)一個(gè)邊沿階躍波形，如圖 C 所示，并把此波形存為參考波形。如圖 B 把被驗(yàn)證探頭和附件點(diǎn)測到測試夾具上，如圖 D 所示，屏幕上出現(xiàn) 3 個(gè)波形，蘭色的是參考波形，綠色的是受探頭影響后的被測波形，黃色的是探頭顯示的波形，通過測試上升時(shí)間參數(shù)，過沖參數(shù)等，可確認(rèn)探頭和探頭附件的性能。
